Author Details
Лисенков, В. Ю.
| Issue | Section | Title | File |
| Vol 68, No 10 (2023) | PHYSICAL PROCESSES IN ELECTRONIC DEVICES | Flow of high-energy positive oxygen ions from plasma onto the substrate in a pulsed magnetron discharge with a hot target. | |
| Vol 68, No 11 (2023) | НАНОЭЛЕКТРОНИКА | Получение пленок оксида кремния методом импульсного магнетронного осаждения с горячей мишенью в реакционной среде |