Информация об авторе
Пивоваренок, С. А.
| Выпуск | Раздел | Название | Файл |
| Том 52, № 1 (2023) | ДИАГНОСТИКА | Контроль параметров травления кремния в вч плазме CHF3 методом оптической эмиссионной спектроскопии | |
| Том 52, № 1 (2023) | ДИАГНОСТИКА | Электрофизические характеристики и эмиссионные спектры плазмы тетрафторметана |